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        全自動晶圓關鍵尺寸檢測及分選機

        簡要描述:Dymek Orzew FC20使用無接觸式單側(cè)紅外干涉光傳感器,搭配標準真空吸附晶圓載臺,Dymek Orzew FC20X使用無接觸式點光譜共焦對射傳感器,搭配符合行業(yè)標準的三點支撐水平載臺,兩套系統(tǒng)均配有高速、高精度運動模組和晶圓機械手,滿足亞微米級的形 貌測量需求,可選裝配電阻率測試模塊,滿足更多樣化的量測需求,適應更多的晶圓制程。

        • 產(chǎn)品型號:Orzew FC20/FC20X
        • 廠商性質(zhì):代理商
        • 產(chǎn)品資料:
        • 更新時間:2024-11-09
        • 訪  問  量: 4756

        詳細介紹

        全自動晶圓關鍵尺寸檢測及分選機功能:

        多種測量能力

        形貌測量

        晶圓分選

        電阻率測量

        關鍵尺寸檢測

        自由選擇適配的測量方式

        Dymek Orzew FC20使用無接觸式單側(cè)紅外干涉光傳感器,搭配標準真空吸附晶圓載臺

        Dymek Orzew FC20X使用無接觸式點光譜共焦對射傳感器,搭配符合行業(yè)標準的三點支撐水平載臺

        兩套系統(tǒng)均配有高速、高精度運動模組和晶圓機械手,滿足亞微米級的形貌測量需求

        可選裝配電阻率測試模塊,滿足更多樣化的量測需求,適應更多的晶圓制程


        可實現(xiàn)的測量內(nèi)容.png


        可測量的晶圓類型.png



        厚度分布熱力圖和三維面型

        •具備4,6,8寸晶圓檢測能力(12寸可選)

        •全自動輸出測量結(jié)果

        •自定義電阻率檢測輸出方式



        屏幕截圖 2024-02-19 144536.png




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